匀胶旋涂仪日常使用过程中如何维护保养？

1、按照设备操作方法规范使用设备；（若相关设备使用文档资料遗失可联系我司售后工程师。）

2、留意实验室电压是否稳定，电压不稳可能会导致设备内部电源供应损坏；

3、严禁将胶液滴入托盘中心的真空孔内；

4、实验完成后保持旋涂腔体内的清洁，可使用酒精或丙酮清理托盘及旋涂腔体内壁，亦可在漩涂腔体内垫上内衬便于清理；
5、选择适当的托盘来吸附实验样片，必须确保实验样片完全覆盖托盘上的黑色密封圈，如果黑色密封圈磨损需要及时更换；

6、通入设备的氮气压力不可过大，通气压力要求为：60-70psi（即：0.42-0.48MPa）；通入氮气压力过大，会出现按下真空键后无法取下实验样片的情况，长时间高压气体介入会导致设备内部气路损坏；

7、真空泵连续工作的时间不超过1小时，实验结束后关闭真空泵电源，提高真空泵的使用寿命；