等离子清洗机日常使用过程中如何维护保养？

1、按照设备操作方法规范使用设备；（如相关设备使用文档资料遗失可联系我司售后工程师。）

2、留意实验室电压是否稳定，电压不稳可能会导致设备保险丝熔断以及射频灯源损坏；

3、定期清洁真空腔内壁，以免内壁上的污染物积累成为污染源；（真空腔内壁清洁方法可参见标准实验室玻璃器皿清洁方式，如：可用无尘布/无尘纸蘸一点酒精、丙酮或异丙醇轻轻擦拭内壁表面。如果用标准的实验室玻璃器皿清洗方法不能去除污染物和污染物影响等离子体实验时，等离子体腔室可能需要更换。）

4、平时注意真空泵-等离子腔体尾部的管路连接件以及三通阀与舱门的接口处是否松动，如有松动请及时拧紧。

5、不建议将等离子和真空泵连续运行时间超过1小时的处理，且在处理完毕后，设备的主电源应关闭，以防止过热和可能的损坏；

6、配套油泵泵浦系统留意泵油颜色和油位变化，并及时添加和更换泵油；配套干泵泵浦系统若实验室湿度高需要定期排水汽，使用时间达到5000小时建议做一次维护保养；

7、当真空腔室内处于低压状态时，不要强行打开前盖舱门，因为这会损害真空腔室。

8、请勿将输入电流要求超过7安培的真空泵电源线插头接入等离子清洗机后部真空泵电源接口；