SU-8 3000是一种高对比度,基于环氧的光刻胶,专为微加工和其他微电子应用中,需要化学和热稳定的图像。
SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改进配方,已被广泛采用,由MEMS生产商使用多年。
SU-8 3000有配制用于改善附着力和降低涂层应力。