工作原理:
清洁过程基于液态或气态二氧化碳的受控膨胀。这种膨胀导致小干冰粒子和高速载气流成核。在与表面碰撞后,干冰通过动能传递来去除各种大小的颗粒,而碳氢化合物和有机物则通过瞬时溶解或冷冻断裂来去除。高速气体将污染物吹走。此外,喷嘴设计的改变可用于清洁大型望远镜的镜片。
优势:
•可去除所有大小的颗粒,从可见到3-5纳米的颗粒
•可以去除碳氢化合物污染和有机残留物
•无磨损、无残留、无化学废物– 环保型
应用领域:
•从金属,陶瓷,聚合物和玻璃中去除污染
•从Si,InP和GaAs晶片中去除颗粒和污点
•清洁光学器件,即涂层透镜,激光,IR和UV光学器件
•表面分析前(Auger,XPS,SIMS)和AFM的样品制备
•一般的实验室,生产间和洁净室的清洁
•基片制备
•许多金属和陶瓷组件的制造
•清洁真空系统部件,波纹管,电子和离子光学器件
•去除微电子和混合电路中的微粒
•艺术品清洁
•清洁望远镜镜片
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可用于半导体,磁盘驱动器,真空技术,表面分析,光学,医学,分析仪器,金属,陶瓷,望远镜,艺术修复,火损修复等众多关键和非关键清洁应用养护等。
简述:
二氧化碳干冰清洗系统简单易操作,它们是由CO2源,一个带内孔的喷嘴,一个开/关阀,和一个将CO2从源头输送到喷嘴的装置组成。一个典型的系统,如下图所示,包括一个气瓶配件、管道、开/关枪或阀门和喷嘴。这些单元均由PTFE柔性材质的不锈钢钢制软管制成。可用的开/关控制包括电磁阀、气动阀、手动阀,或手枪。
双重气体版
双重气体单元提供了一个特殊的喷嘴,是针对其他压缩气体或氮气,在二氧化碳气流喷嘴旁边。这有利于减少湿气凝结。双重气体单元是在高纯度单元(K4-10S)的基础上,附加了一个用于第二气体的塑料喷嘴。有两种型号- K6-10DG-A使用两个电磁阀控制带双脚踏开关;K6-10DG-B对第二种干燥气体使用手动阀。
图一显示了K6-10DG-A型喷嘴区域的特写 - 有两个电磁阀,一个用于CO 2,另一个用于氮气或其他干燥气体。CO 2气流上通过过滤器。白色聚合物喷嘴是其他压缩气体进入和流出的地方,在CO 2气体的旁边。
图二显示了K6-10DG-B型的俯视图。手动阀控制其他干燥的压缩空气或氮气。两种气体都有可选的过滤器。每个单元都可以使用加热的第二气体来帮助降低湿度。