托盘适用于650系列匀胶机
3mm：适用于3-10mm基材
5mm：适用于10-25mm基材
10mm：适用于10-50mm基材
45mm：标准真空托盘，直径 1.75 英寸（~45 毫米），适用于 50mm - 150mm 晶圆
100mm：适用于100-200mm晶圆，200mm SEMI标准晶圆应限制在3500RPM
定 制：可根据工艺需要定制托盘，价格需提供基材参数后确定