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正胶显影液TMAH  四甲基氢氧化铵
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TMAH 四甲基氢氧化铵


基本化学信息

  • 外观与性状:常见为无色透明液体,有较强的碱性,在空气中易吸收二氧化碳,导致浓度发生变化。

主要应用领域

  • 半导体和集成电路制造:作为光刻工艺中的显影剂,TMAH 能选择性地溶解未曝光的光刻胶,留下已曝光部分形成所需的图形,从而将掩膜版上的图案精确转移到硅片等衬底材料上。同时,它还可用于硅片的湿法刻蚀,对硅等材料进行腐蚀加工,制作微机电系统(MEMS)结构,如加速度计、压力传感器等。

  • 液晶显示(LCD)制造:用于取向层的蚀刻,精确控制液晶分子的排列方向,以保证液晶显示器能够正常显示图像 。此外,在液晶盒的制作过程中,也可用作清洗液,去除玻璃基板表面的杂质和污染物,保证液晶盒的制作质量。

  • 印刷电路板(PCB)制造:可用于电路板表面铜层的蚀刻,将不需要的铜腐蚀掉,从而形成特定的电路线路图案。

  • 有机合成:作为一种有机强碱,TMAH 可以在有机合成反应中充当催化剂或反应物,参与如酯交换反应、缩合反应等。

安全性

TMAH 具有强腐蚀性,对皮肤、眼睛和呼吸道有强烈的刺激作用,使用时必须做好防护措施,如佩戴防护手套、护目镜和防护服等。在储存和运输时,需要避免与酸性物质、氧化剂等混放,防止发生剧烈反应 。同时,对于使用后的含 TMAH 废液,要按照相关环保规定进行处理,避免污染环境


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