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FR系列光学膜厚仪

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这款膜厚仪的基本原理是利用白光反射光谱法来测量薄膜厚度。白光反射光谱法是一种分析材料光学性质的方法,它通过使用白光源照射待测物体,然后测量物体反射的光谱,以获取物体在不同波长下的反射率信息。它采用了自动化的测量方法,将薄膜样品放置在测量台上,光源发射的白光通过光纤被引导到反射探针,垂直入射到样品表面上。同时,反射探针收集反射光,将其引导至膜厚仪内置软件进行分析计算。通过分析不同波长的光在样品表面的反射率,可以得到材料的光学特性,如折射率、吸收率、透射率等。

这款膜厚仪的优点是测量精度高、测量速度快、非接触式测量、适用于各种类型的薄膜材料。它广泛应用于半导体、有机电子、材料科学、聚合物、二维材料、涂层、光伏太阳能电池、生物传感……等领域。

特点:

1 、非接触式测量:避免物件受损。

2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 2nm ---500μm。

3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。

4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。

5 、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。

6 、扫描仪:闭环控制系统。

7 、工作台:气动装置、抗震、抗压。

8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。


应用领域:

聚合物和抗蚀剂表征、化学测量、电介质特性、生物医学、半导体、硬质涂层、光学涂层、非金属薄膜等。


选型指南:

1)FR-Pro基础型膜厚仪

一款模块化且可扩展的平台,用于测试1nm-3mm厚度范围内的涂层


2)FR-Scanner扫描型膜厚仪

全自动,超快速,高精准等膜厚表征绘制和膜厚涂覆的光学特性


3)FR-Portable便携式膜厚仪

高精准,USB电源驱动便携式,满足用户实时需要


4)FR-uProbe微米级薄膜表征

一种独立工具适用于需要小至几um的光斑尺寸的应用



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